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HF干式無油真空泵

概述

用途

本系列變?nèi)菔綗o油真空泵特別適用于化工、制藥行業(yè)使用,具有極強(qiáng)的抽除100%的有機(jī)溶劑(如酒精、汽油、丁烷等)氣體能力,也能確保長期可靠地連續(xù)工作,并且抽除的重要?dú)怏w可以實(shí)現(xiàn)100%回收,重復(fù)使用。本系列產(chǎn)品安裝了排液裝置,可以使冷凝在泵腔內(nèi)的冷凝液體逐級排除泵外,確保了泵的工作效率,延長了泵的使用壽命。

特點(diǎn)

清潔抽空,對環(huán)境無污染;在流程腔內(nèi),部件間無內(nèi)部接觸,無油氣污染;抽除能力強(qiáng)、工作平穩(wěn)、噪聲低;維護(hù)成本低。

配合使用

作為羅茨泵、分子泵、鈦升華泵、濺射離子泵、低溫泵的前級泵配套,可組成清潔的無油中真空和無油高真空機(jī)組。

應(yīng)用環(huán)境

化工實(shí)驗(yàn)室、真空蒸餾、真空分餾、真空濃縮、分子蒸餾;

光譜儀器、電子顯微鏡;

表面物理和分析儀器;

各種鍍膜設(shè)備、退火爐、加熱爐、空間研究;

電子管生產(chǎn)、熱管生產(chǎn)、圖像轉(zhuǎn)換管、電子顯像管;

光學(xué)器件的過程工藝、半導(dǎo)體器件過程工藝等、等離子刻蝕、化學(xué)氣相沉積、分子束外延、離子注入;

真空干燥、真空凍干、真空燒結(jié)、液晶生產(chǎn)、真空冶煉;太陽能電力;國防科研。

主要性能參數(shù)

參數(shù)/型號 HF-4 HF-8 HF-15 HF-30 HF-70 HF-150 HF-300
極限真空(Pa) ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3 ≤3
抽氣速率(L/S) 4 8 15 30 70 150 300
滿載功率(kw) 0.75 1.1 2.2 4 7.5 150 30
輸入電壓(V) 380 380 380 380 380 380 380
冷卻水流量(L/H) 200 200 200 300 300 350 350
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