干式螺桿真空泵，是利用一對相互嚙合的螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及粉塵的氣體場合。它是油封式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
特點(diǎn):
1.泵腔內(nèi)無油，對真空系統(tǒng)無污染，提高產(chǎn)品質(zhì)量 。
2.泵腔內(nèi)無油，解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護(hù)和保養(yǎng)等問題，節(jié)約使用成本。
3.干式運(yùn)行，不會產(chǎn)生廢油和油煙，有利環(huán)保，節(jié)約石油資源。
4.能抽除大量水蒸汽和粉塵的氣體 。 增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射性等氣體。
5.極限真空較高，適用于中、低真空，與羅茨泵串聯(lián)可配成無油真空機(jī)組，與分子泵串聯(lián)可組成無油高真空機(jī)組。
6.采用防腐涂層處理后，特別適用于制藥、化工工藝中的產(chǎn)品蒸餾、干燥、脫氣等使用場合
7.清洗方便，如泵腔內(nèi)進(jìn)入污物需清洗時(shí)，只需打開泵的吸排氣口，開啟泵后從泵的吸氣口加入適量的水或清洗劑即可將泵清洗干凈，無需拆卸整臺泵。
螺桿真空泵核心技術(shù)是螺桿齒形，不同的齒形直接決定著泵的極限真空、抽氣速率、容積效率、振動和噪聲等技術(shù)性能指標(biāo)的差異。目前螺桿真空泵的端面型線主要分為兩種，單頭轉(zhuǎn)子型線和多頭轉(zhuǎn)子型線 。源于螺桿壓縮機(jī)的多頭轉(zhuǎn)子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機(jī)的轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4—6頭螺桿轉(zhuǎn)子型線用在真空泵上，韓國LG公司的真空泵目前也使用多頭轉(zhuǎn)子型線，由于兩嚙合轉(zhuǎn)子接觸線的頂點(diǎn)不能達(dá)到陰、陽轉(zhuǎn)子氣缸孔的交線，在接觸線頂點(diǎn)和機(jī)殼的轉(zhuǎn)子氣缸孔之間，會形成一個空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個泄漏三角形的存在，導(dǎo)致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，加上這類轉(zhuǎn)子加工難度大，需要專用機(jī)床，造價(jià)昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場。為適應(yīng)市場需求 ，各公司開始開發(fā)單頭等螺距轉(zhuǎn)子型線，日本的荏原株式會社和大晃株式會社等相繼研發(fā)出了具有知識產(chǎn)權(quán)的單頭螺桿轉(zhuǎn)子型線。KASHIYAMA公司也有自己的單頭轉(zhuǎn)子型線見世。東北大學(xué)的劉春姐、張世偉等是國內(nèi)較早研究螺桿真空泵的學(xué)者，對單頭等螺距型線、單頭變螺距型線、雙邊對稱圓弧型線做了一定的研究，并申請了專利。但其所發(fā)表的文章中尚未給出完整的轉(zhuǎn)子端面構(gòu)成及嚙合 、泄漏和齒間面積 利用效率的分析。
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