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1401型滑閥真空泵（已淘汰）
MH型滑閥真空泵（基本淘汰）
H型滑閥真空泵（單缸）
2H型滑閥真空泵（雙缸）

直聯(lián)旋片真空泵
2X型旋片真空泵
XD型單級(jí)旋片真空泵

ZJH型羅茨真空泵（專利產(chǎn)品）
ZJ型羅茨真空泵（老型）
ZJHQ型直排大氣羅茨真空泵

HF型爪式真空泵
LG型螺桿真空泵

2BA、2BV型直聯(lián)水環(huán)真空泵
SK、2SK、2SK-P型水環(huán)式真空泵
2BE型大型水環(huán)真空泵
RPP型水噴射真空泵

WLW型立式無油真空泵
W、WY型往復(fù)式真空泵

JZJHS型羅茨水環(huán)真空機(jī)組
JZJHX型羅茨旋片真空機(jī)組
JZJHBA型羅茨水環(huán)真空機(jī)組
JZJHP型羅茨水噴射真空機(jī)組
JZJHWLW型羅茨立式無油真空機(jī)組
JZJHH/2H型羅茨滑閥真空機(jī)組
HF型干式無油分子泵機(jī)組
JK型高真空羅茨-油擴(kuò)散泵機(jī)組

3L-WD型直聯(lián)三葉羅茨風(fēng)機(jī)
3L-WD型皮帶三葉羅茨風(fēng)機(jī)

VD/VOD真空爐鋼水精煉真空成套設(shè)備
ZHH真空吸引站
目前國內(nèi)單晶爐、多晶爐配用真空泵以滑閥真空泵2H-120、滑閥真空泵2H-150、滑閥真空泵2H-70居多。其中清理單晶爐仍然使用水環(huán)真空泵2SK-6A型號(hào)。多晶硅爐配套真空泵可根據(jù)用戶情況定制各類真空機(jī)組(羅茨滑閥真空機(jī)組型號(hào)：JZJH2H-150-70)。
單晶爐滑閥真空泵

2H-70 主要性能參數(shù)：
極限真空：6X10-2Pa
抽氣速率：70L/S 　　
配用功率：7.5KW 　　
進(jìn)氣口徑80mm 　　
排氣口徑80mm
 　　
水環(huán)真空泵2SK-6A主要性能參數(shù)： 　　
極限真空：3300Pa 　　
抽氣速率：6m3/min 　　
進(jìn)排氣口徑：50mm
功率：11KW
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