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HF無(wú)油分子泵機(jī)組

概述

用途
HF無(wú)油分子泵機(jī)組是由各性能分子泵、無(wú)油泵、通斷放氣閥、前級(jí)管路、斷水保護(hù)器、分子泵電源、控制電源等組裝而成的清潔超高真空獲得設(shè)備。安裝方便，操作簡(jiǎn)單，易于連接，性能可靠?？蓮V泛應(yīng)用于表面分析、加速器技術(shù)、半導(dǎo)體設(shè)備，等離子技術(shù)、電真空器件的制造及真空技術(shù)各領(lǐng)域。

應(yīng)用領(lǐng)域
分析儀器；氣相分析；電子顯微鏡；檢漏儀等。

工作應(yīng)用
 顯像管領(lǐng)域；光盤制造；鍍膜行業(yè)；電子束焊接設(shè)備；ITO生產(chǎn)線；OLED生產(chǎn)線、幕墻玻璃生產(chǎn)線；離子刻蝕；半導(dǎo)體制造工業(yè)；真空爐；真空輸送；照明燈生產(chǎn)工業(yè)；食品包裝；電真空工業(yè)等。

科研領(lǐng)域
高能物理、表面物理、科研儀器、空間研究等真空技術(shù)領(lǐng)域。

主要性能參數(shù)

型號(hào)參數(shù) HFP100/110 HFP160/620 HFP200/1200
高真空法蘭 DN100LF DN100CF DN160LF DN150CF DN200LF DN200CF
抽氣速率(L/S) 110 450 1200
壓縮比(N2) <10 <10 <10
壓縮比(H2) 5*10 10 6*10
極限壓強(qiáng)(Pa) 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5 6*10-5
輸入電壓頻率(V/HZ) 380±20/50±1 380±20/50±1 380±20/50±1
冷卻水壓力(Kg.cm) 0.5-1 0.5-1 0.5-1
前級(jí)泵型號(hào) HF-8 HF-15 HF-30
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