干式螺桿真空泵，是利用一對相互嚙合的螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，兩螺桿經精細動平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時，相互之間無磨擦，運轉平穩(wěn)，噪音低，工作腔無需潤滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及粉塵的氣體場合。它是油封式真空泵的更新換代產品。
特點:
1.泵腔內無油，對真空系統無污染，提高產品質量 。
2.泵腔內無油，解決油乳化及頻繁更換工作液、頻繁維護和保養(yǎng)等問題，節(jié)約使用成本。
3.干式運行，不會產生廢油和油煙，有利環(huán)保，節(jié)約石油資源。
4.能抽除大量水蒸汽和粉塵的氣體 。 增加附件后，也能抽除易燃、易爆及放射性等氣體。
5.極限真空較高，適用于中、低真空，與羅茨泵串聯可配成無油真空機組，與分子泵串聯可組成無油高真空機組。
6.采用防腐涂層處理后，特別適用于制藥、化工工藝中的產品蒸餾、干燥、脫氣等使用場合
7.清洗方便，如泵腔內進入污物需清洗時，只需打開泵的吸排氣口，開啟泵后從泵的吸氣口加入適量的水或清洗劑即可將泵清洗干凈，無需拆卸整臺泵。
螺桿真空泵核心技術是螺桿齒形，不同的齒形直接決定著泵的極限真空、抽氣速率、容積效率、振動和噪聲等技術性能指標的差異。目前螺桿真空泵的端面型線主要分為兩種，單頭轉子型線和多頭轉子型線 。源于螺桿壓縮機的多頭轉子型線起步較早，有的廠家直接用螺桿壓縮機的轉子型線用在真空泵上使用。日立公司很早就把4—6頭螺桿轉子型線用在真空泵上，韓國LG公司的真空泵目前也使用多頭轉子型線，由于兩嚙合轉子接觸線的頂點不能達到陰、陽轉子氣缸孔的交線，在接觸線頂點和機殼的轉子氣缸孔之間，會形成一個空間曲邊三角形，也就是泄漏三角形，氣體將從壓力較高的齒間容積，泄漏至壓力較低的鄰近齒間容積，由于這個泄漏三角形的存在，導致多頭螺桿真空泵的極限真空度較低，加上這類轉子加工難度大，需要專用機床，造價昂貴，因而逐步退出螺桿真空泵市場。為適應市場需求 ，各公司開始開發(fā)單頭等螺距轉子型線，日本的荏原株式會社和大晃株式會社等相繼研發(fā)出了具有知識產權的單頭螺桿轉子型線。KASHIYAMA公司也有自己的單頭轉子型線見世。東北大學的劉春姐、張世偉等是國內較早研究螺桿真空泵的學者，對單頭等螺距型線、單頭變螺距型線、雙邊對稱圓弧型線做了一定的研究，并申請了專利。但其所發(fā)表的文章中尚未給出完整的轉子端面構成及嚙合 、泄漏和齒間面積 利用效率的分析。
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